集成电路产品比如存储芯片的成本价格、竞争实力和工艺技术息息相关,洁净室工程作为项目建设、投产过程中的的环节,属于生产辅助性工程,直接和投资相关,不受限于技术瓶颈,即使我国在制造工艺上尚存在差距,但是洁净室工程行业不受影响,获益于我国半导体产业的发展。洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害气体、---等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、压力、气流速度与气流流向、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予---设计的空间。洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。








洁净厂房空调系统工程的设计过程中,应根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况,电子半导体净化车间安装,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
洁净室功能目的的三大控制重点粉尘、温度、湿度,是由气密、回风、过滤、冷却、新风等来主宰,而完成这些功能的系统设备就是构成洁净室的主体:内装(吊顶、墙板)、dcc、 mau、ffu。方案特点:a.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担; b.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
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